仪器名称

紫外-可见-近红外分光光度计

仪器型号

安捷伦Cary 5000

仪器照片

仪器参数

l 波长范围：175～3300nm；

l 是否偏振：自动偏振器

l 波长准确度：紫外可见≤±0.08nm；近红外≤±0.5nm；

l 波长重复性：紫外可见≤±0.005nm；近红外≤±0.02nm；

l 光度准确性：±0.00025A(0.3Abs或0.5Abs双光阑法)；

l 光度重复性：±0.00014A(0.5～1A)；

l 带宽：紫外可见0.01～5nm，0.01nm间隔自动调节；近红外0.04～20nm，0.01nm间隔自动调节；

l 光谱分辨率：优于0.048nm（紫外可见区）；优于0.2nm（近红外）

仪器名称

X射线粉末衍射仪

仪器型号

日本理学Rigaku X射线粉末衍射仪 ULTIMA IV 

仪器照片

仪器参数

l 测角仪器半径：185mm；

l X射线光管：A-41 2.0KW

l 扫描角度范围：2θ：3°-120°

l 扫描步长0.02°

仪器名称

X射线单晶定向仪

仪器型号

丹东新东方X射线定向仪：XY-2

仪器照片

仪器参数

l X射线源：铜K_α1线，波长为0.154056nm

l 测试精度：±30″

l 2θ范围：10°-100°

l   标准样片：（101）石英片SiO₂，θ值为13°20′

仪器名称

半导体器件霍尔效应测试系统

仪器型号

Lake Shore-8404

仪器照片

仪器参数

l 电阻测量范围：10 mΩ ~ 200 GΩ

l 电流范围：±1 pA ~ ±100 mA

l 迁移率测试范围：1 ~ 1 × 10⁶cm²/V·s

l 温度范围：15 k ~ 350 K

l 室温下最大磁场：1.67 T

l 使用低温选件时最大磁场：0.89 T

室温最大样品尺寸：10 mm × 10 mm × 3 mm，采用焊接引线方式进行样品安装

仪器名称

激光共聚焦显微镜

仪器型号

LSM900

仪器照片

仪器参数

l 正立透反全自动光学显微镜；

l 宽视野平场10x/23目镜；

l 物镜：选用最先进的反差增强系列，增加短波长透光率，提高图像的分辨率；

l 第二代国际最先进的IC2S无限远轴向及径向双重色差校正及反差增强的光学系统；

l 有TFT触摸式液晶操作屏；

l 显微镜Z方向步进精度10 nm，并带有1 nm精度闭环装置；

l 电动扫描台；

l 电动7位物镜转盘；

l 蔡司原装Axio cam 105摄像头，500万像素；

l 观察方式：反射光明场、暗场、偏光、微分干涉、荧光；

l 405 nm半导体激光器，功率5 mW；

l 长寿命LED照明，寿命不低于10000 h；

l 专用共聚焦反射光通道，配有高灵敏度PMT探测器；

l 三维表面形貌软件模块：可获得三维表面形貌图及高度图（地形图），并增加多种测量功能（粗糙度、表面积、体积）；

图像拼接模块：可实现XZ剖面拼图和XYZ空间拼接。

仪器名称

方阻测试仪

仪器型号

LEI-1510EC

仪器照片

仪器参数

l 线性度±3；

l 高量程HI Rang 测试结果小于等于0.5％；

l 低量程LO Rang 测试结果小于等于0.3％；

l 超低量程XL Rang：测试结果小于等于0.55％；

l 线圈的直径为14 mm；

l 可测量wafer的尺寸为2-8 inch；

l Gap Rang探头间距范围；

测试点数可以自己设置。

仪器名称

颗粒度测试仪

仪器型号

NanoSight NS300

仪器照片

仪器参数

粒径检测范围：10–2000nm^*

浓度检测范围：106–109个/ml

光电单元：超高灵敏度科研级sCMOS

样品量：最少300 ul

仪器名称

FTIR红外光谱仪

仪器型号

FTIR-850

仪器照片

仪器参数

光谱范围：7800-350cm^-1

分辨率：0.5 cm^-1

波束精度：0.01 cm^-1